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    上海政飛電子科技有限公司
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    產品名稱:

    射頻探針臺

    產品類別:
    射頻探針臺總體規格特點:● 重量:50kg(含顯微鏡)● 尺寸:590mm寬*500mm長*700mm高(含顯微鏡)● 優化的人體工學設計,便于工程師長時間舒適的操作
    • 詳細內容

    射頻探針臺顯微鏡操控規格:

    ●   在探針臺右側有大搖桿,提起90度后,可以使顯微鏡快速傾仰抬起,方便在測試時更換物鏡鏡頭
    ●   顯微鏡后側有X/Y軸調節小搖輪,可調節顯微鏡在x-y方向的移動,移動范圍2"X2",精度1μm
    ●   顯微鏡Z軸帶有調焦粗旋鈕和細旋鈕,粗旋鈕方便快速調焦,細旋鈕方便精確調焦,使顯微鏡在Z軸方向行程50.8mm,移動精度1μm
     
    射頻探針臺臺面規格:
    ●  探針臺臺面平整度:5μm
    ●  探針臺左側有搖杠可以控制臺面快速上下升降6mm。在探針臺加裝探針卡點測wafer時方便對die的重選擇
    ●  探針臺右上方有轉輪搖桿,搖動時可使臺面線性上下升降,升降范圍25mm,精度1μm。在探針臺加裝探針卡點測wafer時方便對die的復位
     
    卡盤(載物臺,即圖中的chuck)規格:
    ●  6" 卡盤,卡盤平整度:5μm,采用真空吸附方式吸附,帶真空吸附孔,中心孔徑250μm-1mm(可根據客戶需求定制孔徑大?。?,zui小可以吸住尺寸為0.3mmX0.3mm,zui大能夠吸住尺寸為6"X6"
    ●  卡盤可360度旋轉,旋轉角度可微調,微調精度為0.1度,帶角度鎖定旋鈕
    ●  卡盤X,Y軸調節旋鈕可以控制卡盤做X-Y方向的移動,移動范圍為6"X6",移動精度為1μm,為方便點測的穩定性,帶有鎖住功能。如果點測6"wafer的時候,可以保證6"wafer的每一點都能夠點測到


    性能:
    ● 鍍金真空吸附卡盤: 對應可選4" ,6",8",12"產品
    ● 大旋鈕移動卡盤臺,X-Y方向行程:6"-6"
    ● 卡盤快速拉出裝置便于放置/拿去樣品
    ● 線性無回差調節
    ● 臺面快速升/降行程:6mm,精調升/降行程:25mm
    ● 樣品尺寸: 5x5mm ~ 4" 6", 8", 12"
    ● 卡盤平整度: 10um
    ● 卡盤旋轉角度:0~360°
    ● Chuck Theta: ±15?
    ● 大旋鈕滑臺X-Y方向精度: 1um
    ● 臺面上/下升降搖桿/旋鈕
    ● 顯微鏡傾仰裝置

    附件:
    ● 顯微鏡傾仰裝置
    ● 射頻測試探頭/電纜
    ● 有源探頭
    ● 低電流/電容測試
    ● 高壓測試
    ● 激光修復
    ● CCD/數字相機,USB接口
    ● 探針卡/封裝/PCB板夾具
    ● 加熱裝置
    ● 防震桌
    ● 屏蔽箱
    ● 顯微鏡暗場/Normarski 檢測

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